全自动BSGS
BSGS是在GC/R的基础上设计研发的大流量特气供应系统，以OMRON PLC为控制主体，PROFACE触摸屏为操作界面，针对不同性质气体搭配不同的盘面设计，可以对超大流量的危险气体进行不间断供应。全系列产品均已通过半导体行业的SEMI-S2安全认证以及电子产品之CE认证。
1、可设定的5级密码权限
2、自动吹扫，自动切换
3、手动吹扫及操作阀门
4、操作及报警历史纪录
5、供气和报警参数设置
6、设备运行状态输出
7、紧急切断开关EMO
8、高温自动喷淋系统
9、钢瓶吹扫阀箱
可选功能：
1、UV/IR SENSOR (易燃性气体)
2、磅秤 （液态气体）
3、Vavle Shutter （危险气体）
4、Auto Guard （危险气体）
5、钢瓶加热夹克 （低压气体）
6、盘面管路加热 （低压气体）
7、二级调压 （高压气体）
8、Exaust Alarm （所有气体）
9、Z-Purge Alarm （所有气体）
10、以太网远程通讯 （所有气体）
11、HEATING BLOCK (高压气体)
附属设施：
1、外观 750(W) X 550(D) X 2,300(H)
2、电源 220VAC 3A
3、供气管路 316L EP 1/4 VCR
4、吹扫管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)
5、保压管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%
6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN2
7、排放管路 316 BA 1/2 VCR
8、气动气源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA
9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI
10、排风 6'' 风压 200Pa
